Fotolitografiya

Fotolitografiya (foto... va litografiya) — 1) toshbosma qolipi tayyorlashning fotomexanik usuli; bunda tasvir negativnaya sirtiga yorugʻlik sezgir qatlami qoplangan tosh (metall)ga koʻchiriladi. Nusxa ochiltirilgandan soʻng unga kimyoviy ishlov beriladi, natijada sirt bosma va probel (oraliq) elementlarga boʻlinadi. Hozirgi vaqtda F. kamdankam ishlatiladi; 2) fotorezist (yorugʻ sezgir polimer qatlam) lardagi maxsus fotografik jarayon. F.dan matssad fotorezist qatlamida berilgan konfiguratsiya (shakl)dagi "teshik" hosil qilib, shu teshik orqali oksidlangan pardali yarimoʻtkazgichli plastinaga xurushlash moddasi keltirishdir (qarang Xurushlash). Bunday "teshik"lar fotorezistni ultrabinafsha nurlanish oqimida yoki elektronlar oqimida maʼlum vaqt qoldirib hosil qilinadi. Natijada xurushlash moddasi erish xususiyatini yoʻqotadi (negativ fotorezist) yoki erish xususiyatiga ega boʻlib krladi (pozitiv fotorezist). Bu usul rangli televizorlarning niqoblarida tartibli joylashgan yuz mingdan ortiq mayda teshik hosil qilishda qullaniladi; 3) F. usuli bilan tayyorlangan litografik bosma qolipdan olinadigan nusxa (qarang Litografiya).