Fotolitografiya: Versiyalar orasidagi farq
Kontent oʻchirildi Kontent qoʻshildi
k qisqartmalarni toʻliqlash, replaced: Hoz. → Hozirgi using AWB |
qisqartmalarni toʻliqlash (p1, v0.5) |
||
Qator 1:
'''Fotolitografiya''' (foto... va litografiya) — 1) toshbosma qolipi tayyorlashning fotomexanik usuli; bunda tasvir negativnaya sirtiga yorugʻlik sezgir qatlami qoplangan tosh (metall)ga koʻchiriladi. Nusxa ochiltirilgandan soʻng unga kimyoviy ishlov beriladi, natijada sirt bosma va probel (oraliq) elementlarga boʻlinadi. Hozirgi vaqtda F. kamdankam ishlatiladi; 2) fotorezist (yorugʻ sezgir polimer qatlam) lardagi maxsus fotografik jarayon. F.dan matssad fotorezist qatlamida berilgan konfiguratsiya (shakl)dagi "teshik" hosil qilib, shu teshik orqali oksidlangan pardali yarimoʻtkazgichli plastinaga xurushlash moddasi keltirishdir (
{{no iwiki}}
|