Plazmotron, plazma generator i (plazma va elektron) — plazma olish uchun ishlatiladigan gaz razryadli asbob. Sanoatda materiallarga ishlov berishda qoʻllaniladi. Gazlarda foydalanilayotgan elektr razryadlarning turiga qarab yey razryadli va yuqori chastotali P. keng tarqalgan.

Oʻzgarmas tokda ishlaydigan yey razryadli P. quyidagi asosiy qismlardan iborat: bitta (katod) yoki ikkita (katod va anod) elektrod, razryad kamera-si, plazma hosil qiluvchi moddani uza-tish qismi. Razryad kamerasining plazma oqadigan yorigʻi P. soplosi deyiladi. Yey razryadli P.ning ikki turi: tashqi plazma yoyi va plazmali oqimni hosil qilishda ishlatiladigan P.mavjud. Bi-rinchi tur P.da yey razryadi katod va anod sifatida olingan jism orasida yonadi. P.ning ikkinchi turida katod va anod orasidagi razryadda hosil qilinayotgan plazma razryad kamerasidan ingichka uzun oqim sifatida oqib chiqadi.

Yey razryadli P.da ish gazi (vodorod, kislorod, azot, argon, geliy va boshqalar) qiyin eriydigan katod (volfram, molibden, maxsus krtishmalar) va suv bilan sovitiladigan mis anodi orasida sodir boʻlayotgan yey razryadi tufayli plazmaga aylanadi. Bu plazma anoddagi yoriqdan oqib chiqadi.

Yey razryadli P.da razryadning turgʻunligiga magnit maydoni, gazlar oqimi, razryad kamerasi, soploning devorlari tufayli erishiladi. Bu P.ning quvvati 10 MVt, soplo kesi-midagi oqim temperaturasi (3 — 25) 103K, oqimning chiqish tezligi 104 m/s.

Yuqori chastotali P. esa elektromagnit gʻaltak — induktor yoki yuqori chastotali energiya manbaiga ulangan elektrodlar, razryad kamerasi, plazma qosil qiluvchi moddani kirgizish kis-mini oʻz ichiga oladi. Uning induksi-on, sigʻimli, mashʼalli, oʻta yuqori chastotali xillari mavjud. Induksion P. yordamida nitrid, borid, karbid va boshqa kimyoviy birikmalar asosidagi yupka dispersli va juda toza kukun materiallar olinadi. P. quvvati 1 MVt ga yeta-di, temperatura razryad kamerasining markazi va plazma oqimining boshlanish joyida ~ YU4K > plazma oqimining tezligi 103 m/s, chastotasi bir necha oʻn ming Gs dan oʻnlab MGs gacha boʻladi. Oʻta yuqori chastotali P. chastotasi ming va oʻn ming MGs larni tashkil qiladi; ularni taʼminlovchi generator sifatida magnetronlar qoʻllaniladi.[1]

Manbalar tahrir

  1. OʻzME. Birinchi jild. Toshkent, 2000-yil